切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1214阅读
    • 0回复

    [技术]JCMSuite应用—衰减相移掩模 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5623
    光币
    22267
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-04-02
    在本示例中，模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示： z$7YC49^  
    lx$Y-Tb^F  
     T~"tex]  
    *Q!b%DIa$  
    掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方，位于相移区域。 -B4uK  
     <kLY1 EILM  
    由于这个例子是所谓的一维掩模(线/空间模式)，在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签，以执行用户自定义传入方向的自动转换。启用此标记后，就可以描述传入区域，就好像光轴与Z轴重合一样。这允许统一设置2D和3D的掩模模拟项目。由于光线从基板下方进入，光线的传输方向为+Z方向。 ?[RG8,B  
     hp-< 8Mf  
    相位分布如下图所示： CSr{MF`]e  
    G8u8&|  
     ~lDLdUs  
    yp@mxI@1  
    相移区域的影响清晰可见，导致开口上方光束的180度相位差。同时光场的S和P分量也显示出相位差： x ?^c:`.  
    &tWWb`  
     V]q{N-Iq  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表