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    [技术]JCMSuite应用—衰减相移掩模 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-04-02
    在本示例中，模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示： LZbHK.G=  
    ,&l*AB!  
     +fR`@HI  
    bL#TR;*]  
    掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方，位于相移区域。 Rl!WH%;c[X  
     j%<@ui u  
    由于这个例子是所谓的一维掩模(线/空间模式)，在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签，以执行用户自定义传入方向的自动转换。启用此标记后，就可以描述传入区域，就好像光轴与Z轴重合一样。这允许统一设置2D和3D的掩模模拟项目。由于光线从基板下方进入，光线的传输方向为+Z方向。 MZF ;k$R  
     G8c}re   
    相位分布如下图所示： ~SUl,Cs  
    8l,hP.  
     +|w~j#j9`  
    >\Pj(,'  
    相移区域的影响清晰可见，导致开口上方光束的180度相位差。同时光场的S和P分量也显示出相位差： U"G+su->e  
    Z#V\[  
     PbH]K$mj{"  
     
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