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蛾眼减反结构设计与加工承接
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蛾眼减反结构设计与加工承接
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发表于: 2022-02-17
蛾眼
结构
可以减少反射率,原因在于:当
材料
表面
纳米
结构尺度小于光
波长
时,光波无法辨认出该纳米结构,而圆锥型的蛾眼结构可以使材料表面的
折射率
沿深度方向呈连续变化,从而减小折射率急剧变化所造成的反射。
!?>)[@2 k6
对于抗反射蛾眼2D周期性亚波长结构,需要对其进行严格的矢量计算和分析,通过使用VirtualLab Fusion提供的傅里叶模态法(Fourier Modal Method,FMM)以及
参数
运行(New Parameter Run)和参数
优化
(New Parameter Optimization)功能,可以实现不同
角度
以及不同波长条件下低反射率的蛾眼结构的设计。
F@lpjW
目前,我们采用纳米压印技术,可以在
玻璃
或塑料膜表面制作大面积的蛾眼结构,实现减反效果。在可见光范围内可以将材料表面的反射率降低到小于0.2%。在红外波段,结合纳米压印和等离子刻蚀
工艺
,可以在硅表面加工蛾眼结构来减少其对红外光的反射。
0X-2).nu
(qP$I:Q4]v
(j I|F-i
*u>\&`h=
上图:VirtualLab Fusion设计的抗反射蛾眼结构
4Qo1f5>N
|G@)B!>
下图:加工出来的抗反射蛾眼结构
图片:4d9e47a0af3da75cc0fab016878887d.jpg
_Kj.
Iz8^?>X
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发表于: 2022-06-08
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