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任务/系统视图 ;Yu>82o.: HtS#_y%(  `L">"V`$Bj W#Cq6N 亮点 ,"C&v~ wJr/FE 7c  [sptU3,2U
ep`/:iY W 显微镜系统中光栅的全矢量分析 :!hk~#yvJ9 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 7Fc | 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 2PI #ie4 ~vku d+r 说明：光源 0YHYx n H|'$dO)W  [ y$j9 ]#+5)[N$>  ],!p p 3U W|FNDP0 说明：透镜系统 M!{Rq1M I *1#  l'P [5 '. 说明：样品结构 #NSaY +V >E{#HPpBi  ?T~3B]R QZ_nQ3K 说明：探测器 ye9QTK6$, T9,lblU Q  >f3k3XWRT
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 Yk x&6M@t {5?!`<fF 结果：3D光线追迹 L+` }euu5 (2&K (1.Y  zhD `\&G. +/1P^U /  ,5%aP% jFK9?cLT 结果：光线追迹 \q>e1 - ZnxOa  BUboP?#%) 9'1;-^U1 结果：光线追迹衍射级数 w96j,rEC f^>lObvd  1L(Nfkh FlM.D u 结果：场追迹采样平面 fNmG`Ke Qg86XU%l  $rV:&A WL*W= ( 结果：场追迹焦平面 (h8hg+l
o 2Q;Y@%G  lFzQG:k @ EIVQu~,H 结果：减小光栅周期 "|~B};|MFF
faKrSmE! 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 2*UE&Gp \? Oly171
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