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任务/系统视图 [.hyZ}B iy.2A!f^.  g,o?q:FL AcI,N~~ 亮点 pD]0`L-HJU I1 oje0$  HHX-1+ L
Y)N-V
]5L 显微镜系统中光栅的全矢量分析 @' ;B_iQ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 r <F hY 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 *_ E|@y }g# & Q0 说明：光源 mWR4|1( 9 % l%  kn)t'_jC :1t~[- h^  V-n&oCS+f '>$]{vQ3 说明：透镜系统 |#1(Z- } C2Xd?d  k+I}PuG 说明：样品结构 FO q1>>a0 `wF 8k{Pb  n,$IfC" A)%A!
说明：探测器 V=fEPM 2I*;A5$N1  :qChMU|Y6
5_XV%-wM
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0Pf zIP6\u 结果：3D光线追迹 ` PYJ^I0 WTImRXK4  " D ?z % QKZT=}  N3u((y/ []a[v%PkG 结果：光线追迹 6s0_#wZC 5M9 I,  u7?$b!hG^C It2" x; 结果：光线追迹衍射级数 [<'-yQ{l\ 8]&i-VFof  H[DUZ,J D#& q&6P{ 结果：场追迹采样平面 (@iMLuewK Oft4- 4$E  n_3O-X( 1 "pw 结果：场追迹焦平面 t |~YEQ hWH:wB  x3PD1JUf +la2n(CAK 结果：减小光栅周期 Qg6 W5Hc
L#vI=GpL,r 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 hE h}PX: } :Z# }8
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