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任务/系统视图 5N1}N s ^EuW(
"  BKX 9 SL] 6 e<^o H 亮点 =q5@,wN^ 4~D ax)  Nq_A8Ph9
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L;j 显微镜系统中光栅的全矢量分析 HA1]M`& 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 L{<7.?{Y 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 QkL@JF]Re <}]{ ~y 说明：光源 S~> 5INud GkciA{  eG4>d^`c St2Q7K5s{  *Q5x1!#z # p/3BD&6 说明：透镜系统 4\HsU9 x ^SAq^3^P!  C.(
yd$, 说明：样品结构 6rT4iC3Q{ YmgCl!r@  R1/q3x Dkw*Je#6PX 说明：探测器 jq[x DwP G AEqq1A  Fg4@On[,i
x 9~[HuJ
 e3g_At\ O_AGMW/2+ 结果：3D光线追迹 g|4w8ry Ka.Nr@Rq*~  x2m]Us@LIU p[-{]!  3q?5OL^$ >XnO&hW 结果：光线追迹 nE7JLtbH -dG,*0 >  6__K#r 1`QsW&9=b 结果：光线追迹衍射级数 Z2bUs!0 ?+ \E3}:  PQ3h\CL1n 4.'JLArw 结果：场追迹采样平面 |Euus5[ n_9x "m$  r.<JDdj *KJ7nRKx(w 结果：场追迹焦平面 sOz sY7z3Z n`.#59-Hx  /AR]dcL@76 ZF'HM@cfo 结果：减小光栅周期 Q6x%
$H;+}VQ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 >)3Vb O ]
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