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    [讨论]关于国产光刻机的那段历史 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-30
    关键词： 光刻机
    1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻机，和当时最先进的佳能光刻机相比，差距也就在四年左右。可惜后续因为没有投放到商用领域，以及科研经费的不足，为了促活经济，国内开始采购集成电路生产线设备，国产光刻机的研究，无奈进入了停滞状态。 H3 ^},.  
    @7]yl&LZ  
    gMmaK0uhS  
    关于KHA-75-1光刻机 !4RWYMV "  
    科学院109厂、哈尔滨量具刃具厂、阿城继电器厂共同研制的KHA75-1型接近、接触式半自动光刻机。
     
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    离线天蓝色3230
    工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-11-30
    那时候的条件就那样吧，留下的就是遗憾！
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