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    [求助]有些关于蒸镀的不良想请教大家 [复制链接]

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    离线tamron
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-15
    最近在加工玻璃镜片时出现了很多粒大现象，就是玻璃上伞前无异常，镀膜后表面有小白点，很象是颗粒状的药品直接飞溅上去的感觉，有两台机几乎每伞都有，有时多有时少，但是前两个月基本一个都没的，是什么原因了？主要应从哪些方面去调查呢？请大家指教一下，随便说说没关系。
     
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    离线guou
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-03-16
    清洗有没问题？
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    离线flyinlove79
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-03-16
    真空室清洗是否干净,材料是否预熔彻底,估计是材料没有预熔好
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    离线tamron
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-03-16
    不是真空室没清干净 }'}n~cA.{  
    该增透膜采用了三种材料。AL2O3，H4，MGF2，其中MGF2 电流45-55-40MA左右，经验者说一般问题发生在MGF2上，预溶大概2分钟左右，如果是预溶问题，可否给个合适的参数来参考一下。如何判定有没预溶好该药品？ _pb*kJ  
    电子枪？挡药板？会不会是蒸镀太快了，速度设定在6.0A/S，是用XTC（水晶振动子）控制的
    [ 此贴被tamron在2007-03-16 19:53重新编辑 ]
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    离线林朝州
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-03-18
    chamber 用高溫烘烤過,及OK.
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    离线tonylxt
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-03-26
    预熔要透，慢慢增大束流
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    离线flyinlove79
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-03-27
    MgF2只要全部变成液体,并不再放气就可以了.参数各个机器是不一样的,蒸发速率也还可以.
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    离线sdye3711
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    只看该作者 7楼 发表于: 2007-03-29
    估计也是预熔问题 Fx.Ly]L  
    或者电子枪功率太大,或扫射范围有问题
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    离线ysc212
    助理工程师
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    只看该作者 8楼 发表于: 2007-03-29
    应该是预熔不彻底造成的，在镀时看材料四周有较多火星射出，即可判定！
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    离线szscm2007
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    只看该作者 9楼 发表于: 2007-06-09
    有两种情况可考虑:1完工取出镜片时若上面有灰点时则为真空室顶不净,有灰掉到镜上面2.若是镜下面有灰点则是镀膜药料问题,有可能预熔时电流控制不当造成药料弹射到镜面(对着蒸发舟的这一面),是否换了新购进的药料,其特性没有掌握,或该批药料不良.
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