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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 3127 4O @S9^~W3G3 1.建模任务 5v5)vv.kd mSeCXCrZlI +adwEYRrr DOE:扩散器 '-X[T} 直径:1.4mm X 1.4mm 6pP:Q_U$ 相位等级:2 J~}sQ{ 0 像素尺寸:>1um u43W.4H13 N2 4J!L
m)Ta5w^ 2.照明光束参数 #fy3i+ Xrl# DN
1Be/(pSc fb+_]{7g xB`j*
% 波长:632.8nmm 0uL*-/| 激光光束直径(1/e2):700um 2:oAS z94#:jPmG 3.期望输出场参数 U'@#n2p:k e1Q
|W*#N8IP \r1nMw 3& r(j :C%?}C • 直径:1° AcP d(Pc • 分辨率:≤0.03° wU(p_G3 • 效率:>70% u+
b `aB • 杂散光:<20% H7FOf[3' CT?4A1[aD 4.设计和优化方法 Yz)+UF, uN&UYJ'B • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 AZ>F+@ d • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 |"g+p)A xL [3R
5.配置方法 K2{6{X= ~^bf1W[ p~WX\; 你可以 !?)aZ |r • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 E(F?o.b • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 zJ)`snN| .WLwAL 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 hx! :F"# G5hf m-
V3Ep&<=/ '>cZ7: 6.设置输入光束参数 0SR[)ma {4 {X`$
8.HJoos k%R(Qga 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 ?f= ~Pn+ _MWW
^EJ]LNk} C<#_1@^:8e 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 |?v .5|1 %$_Y"82 7.光学系统 !5
?<QKOe T_[5 ZYy
@6M>x=n5 fu
iTy72 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 =)}Yw) wbB\~*Z)
%GP`H/H( 1HLU
& 光学系统周围介质默认为空气。 d ATAH}r& L|8&9F\ 8.期望输出场设置 5Y 7 %Z W=y9mW|p/
M?5v oV* oT|:gih5 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 YZAQt*x ydMhb367| 9.参数确认过程中的提示 \!"3yd &oE'|^G
\E6 0 Y.q$"lm7k !$/P8T``M • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 xt6%[) • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 PZY6
I • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 {mY=LaS< • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 U] P{~ e~SRGyIww 10.警告 v|dt[>G ?w&?P}e + >3,}^`l :)y3& |