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    [求助]磁控溅射靶的问题 [复制链接]

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    离线mainbomb
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-11
    — 本帖被 cyqdesign 从 光学资源 移动到本区(2007-04-06) —
    就我所用的磁控溅射仪，磁控溅射的靶在用一段时间之后，在靶边缘的特定区域总是会发蓝，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，请问是怎么回事？还有溅射镀膜的均匀性不好，有什么可以改善的方法吗？ ,jz~Np_2  
    请大侠不吝赐教 ！非常感谢
     
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    离线wolfliu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-04-05
    你使用的是什么磁控溅射设备？
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    离线wolfliu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-04-10
    很可能是污染所致，比如轻微的氧化。
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    离线荷塘月色
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-07-02
    靶温度过高，冷却效果不好。
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    离线luochan
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-08-10
    请问您所使用的靶材主要用于哪方面的用途啊？
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    离线jianfei88
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-08-10
    真空度！
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    离线青桃
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-08-20
    两端遮挡,表面轻微氧化
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    离线dianke
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    只看该作者 7楼 发表于: 2007-09-03
    请问 是什么设备
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