切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 6557阅读
    • 7回复

    [求助]磁控溅射靶的问题 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线mainbomb
    实习生
     
    发帖
    31
    光币
    9
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-03-11
    — 本帖被 cyqdesign 从 光学资源 移动到本区(2007-04-06) —
    就我所用的磁控溅射仪，磁控溅射的靶在用一段时间之后，在靶边缘的特定区域总是会发蓝，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，请问是怎么回事？还有溅射镀膜的均匀性不好，有什么可以改善的方法吗？ ]UKKy2r.  
    请大侠不吝赐教 ！非常感谢
     
    回复
    举报
    分享到
    离线wolfliu
    实习生
    发帖
    47
    光币
    96
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2007-04-05
    你使用的是什么磁控溅射设备？
    回复
    举报
    离线wolfliu
    实习生
    发帖
    47
    光币
    96
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2007-04-10
    很可能是污染所致，比如轻微的氧化。
    回复
    举报
    离线荷塘月色
    实习生
    发帖
    8
    光币
    17
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2007-07-02
    靶温度过高，冷却效果不好。
    回复
    举报
    离线luochan
    实习生
    发帖
    2
    光币
    4
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2007-08-10
    请问您所使用的靶材主要用于哪方面的用途啊？
    回复
    举报
    离线jianfei88
    实习生
    发帖
    7
    光币
    7
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2007-08-10
    真空度！
    回复
    举报
    离线青桃
    实习生
    发帖
    3
    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2007-08-20
    两端遮挡,表面轻微氧化
    回复
    举报
    离线dianke
    实习生
    发帖
    17
    光币
    53
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2007-09-03
    请问 是什么设备
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表