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    [讨论]8微米氟化镁膜成膜问题 [复制链接]

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    离线starofage
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-08-12
    关键词： 氟化镁
    最近功能性需求需要镀8微米的氟化镁膜，用的电子枪蒸发，镀完后表面全部像雪花一样掉膜，是什么原因啊？有什么改善方法？
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-08-19
    氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。
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    离线a013109425
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-08-21
    是否镀膜真空过高
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    离线蓦然知回路
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-08-24
    make一下
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    离线starofage
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-08-27
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。 (2021-08-19 20:59)  pTc$+Z7 3  
    eVJ= .?r  
    是基片温度高点吗？我加的300°
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    离线starofage
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    只看该作者 5楼 发表于: 2021-08-27
    回 a013109425 的帖子
    a013109425:是否镀膜真空过高 (2021-08-21 17:13)  AyQS4A.s[  
    v7s ]  
    真空度1-2x10-3pa
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2021-10-19
    这个材料用的少不清楚
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    离线fly6947
    助理工程师
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    只看该作者 7楼 发表于: 2022-01-04
    MGF2应力太大了  超过2um风险就比较大，温度降低，用阻蒸做，可适当改善
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