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[讨论]8微米氟化镁膜成膜问题 [复制链接]

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离线starofage

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2021-08-12

关键词：氟化镁

最近功能性需求需要镀8微米的氟化镁膜，用的电子枪蒸发，镀完后表面全部像雪花一样掉膜，是什么原因啊？有什么改善方法？

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离线ouyuu

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只看该作者 1楼发表于: 2021-08-19

氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。

离线a013109425

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只看该作者 2楼发表于: 2021-08-21

是否镀膜真空过高

离线蓦然知回路

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只看该作者 3楼发表于: 2021-08-24

make一下

离线starofage

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只看该作者 4楼发表于: 2021-08-27

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:氟化镁可以用阻蒸，速度快一点，温度高一点。 (2021-08-19 20:59) p8q9:Tz

是基片温度高点吗？我加的300°

离线starofage

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只看该作者 5楼发表于: 2021-08-27

回 a013109425 的帖子

a013109425:是否镀膜真空过高 (2021-08-21 17:13) aho;HM$hjP

真空度1-2x10-3pa

离线囊中蓄乾坤

助理工程师

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只看该作者 6楼发表于: 2021-10-19

这个材料用的少不清楚

离线fly6947

助理工程师

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只看该作者 7楼发表于: 2022-01-04

MGF2应力太大了超过2um风险就比较大，温度降低，用阻蒸做，可适当改善