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本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。 F>5)Clq 4TaHS!9 关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干 =n MAw&` ymA8`k5>@ 所需工具箱:Starter Toolbox Premium qkq^oHI sQT<I]e 相关Tutorials:HSL.1, DO.2 8|rlP ~gOdK-SV* 建模任务 ;-kg3fGB1Q 衍射扩散传输器 目标平面 `W4Is~VVv Q7?[@2HN aOW$H:b 准分子激光 聚焦透镜(f=20mm) 强度分布 F=$U.K~1? Dfd%Z;Yu Qf|c^B 照射光束参数 ]DI%7kw'
C0j`H( ·光源面尺寸:100×100um v$R7" ·发散角(HWHM):0.89×0.89° wmit>69S ·空间相干长度:3×3 um D}bCMN< ·波长:351nm P".rm0@R O4,?C)
?/Z5%?6 衍射发散器 'k9 1;T[ Br"K{g? Bet?]4\_ ·取样间隔:5um wmFS+F4`2 ·尺寸:640×640um J|dj`Z? ·相位阶数:8 !ziO1U w'P!<JaZ 发散传输器相位 ]Hrw$\Ky W/< |