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衍射光学器件(DOE),又称二元光学元件,主要用于激光束的整形。通过DOE元件可以将一束激光整形成平顶光束,或者矩阵、栅格、线形、圆形、点阵等各种图案。DOE广泛用于激光加工、医疗、成像系统、传感器等领域。 尤其是在结构光3D摄像头中,使用DOE将一束红外激光大角度整形成光斑点阵,用于人脸识别、深度感测等功能,市场前景广阔。 eTS}- #4'wF4DR@ 针对各类衍射和微纳光学器件,通过应用VirtualLab Fusion内置的迭代傅里叶变换算法(Iteration Fourier Transform Algorithm,IFTA)能够快速的实现各类衍射微纳光学器件的设计和优化,并进行公差分析(如对齐、加工高度以及倒角等),最后导出GDSII文件以用于DOE的加工。 vAUt~X" E?XaU~cpc 目前,我们主要采用纳米压印技术加工DOE,可以提供从定制化设计、模具制造、工艺开发、批量生产的全套服务。公司拥有12寸生产线,可以实现纳米级、高深宽比、多阶等高难度DOE结构的定制加工。 %f1%9YH I$xZV?d. f)/Z7*Z Zok{ndO@|f fkzSX8a9} 基于VirtualLab Fusion所设计的DOE结构 k
<oB9J BkB>eE1)Ea 基于纳米压印加工技术所加工出来的DOE结构 Wm}c-GD
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