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JCMsuite的应用领域 ?z/ )Hkw 9~lC/I')t 现代纳米光学系统的复杂性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超严格的仿真可以让设计者深刻理解相关现象,了解更多不同领域带来的挑战。 ]hC6PKJU MEled:i 计算光刻 a*T=;P3(I fEgwQ-] A])+Pe AzlZe\V?)~ JCMsuite提供了完整的光学仿真链:对复杂照明的描述,通过光学成像系统和光掩模传播的光场的计算,直至在光刻胶中形成图像。 Kc,=J?Ob Yg< |