[培训]从薄膜原理、设计到工艺 [复制链接]

时间地点： 0rilg  
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主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：infotek）；常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） 'DCB 7T8  
授课时间：2021 年10月22（五）-24（日） AM 9:00 - PM 16:00 SkMBdkS9z[  
授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号南翔财富中心中暨大厦18楼 KL+,[M@ F  
课程讲师：讯技光电工程师&资深顾问 L`0}wR?+  
课程费用：4500RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) XFcIBWS  
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课程简介： b`X"yg+  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 !_LRuqQ?"  
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透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 6ZwFU5)QE/  
课程大纲： MDh^ic5  
1. Essential Macleod软件介绍 `|g*T~; kC  
1.1 介绍软件 =U<6TP]{  
1.2 运行程序 m~l[Y  
1.3 创建一个简单的设计 7s'r3}B`  
1.4 绘图和制表来表示性能 P1}Fn:Xe%7  
1.5 3D绘图-用两个变量绘图表示性能 2 NrMse  
1.6 创建一个默认设计 3&vUR(10  
1.7 文件位置 ]2'{
W]m  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 mp+lN:  
1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 ,K[
}Bz  
1.10厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） Q.`O;D}x  
1.11 单位定义 o9D]\PdL>  
1.12 软件如何进行数据插值 <aEY=IF4  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） } l4d/I  
1.14 特定设计的公式技术 *kWrF* )J  
1.15 交互式绘图 4e55  
2. 光学薄膜理论基础 w`F4.e  
2.1 介质和波 RB `
<Zw  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 d!]fou  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 K/+w6d  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 *O@uF4+!1  
2.5 光学薄膜设计理论 =#ls<Zo:  
3. 理论技术 4'ymPPY  
3.1 参考波长与g iPoDesp  
3.2 四分之一规则 jM DG  
3.3 导纳与导纳图 ;\N${YIn  
3.4 斜入射光学导纳 X1{U''$ K  
3.5 对称周期 >"q~9b A  
4. 光学薄膜设计 )./
'`Mx?  
4.1 光学薄膜设计的进展 nkvkHh  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 X6lR?6u%|  
4.3 光学薄膜设计技巧 .ko}m{  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 6
su^yt  
4.5 Macleod软件的设计与优化功能 60u}iiC@  
4.5.1 优化目标设置 +r 2\v  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） LVX01ox$  
4.5.3 膜层锁定和链接 G>fJ)A  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 Q\4nduQ  
5.1 减反射薄膜 iSz?V$}?
  
5.2 分光膜 3d0Yq  
5.3 高反射膜 L_WVTz?`  
5.4 干涉截止滤光片 .^J7^Ky,  
5.5 窄带滤光片 HX]pcX^K  
5.6 负滤光片 ;+/[<bvd"  
5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 zxt&oT0Q  
5.8 Vstack薄膜设计示例 ;\5^yDv[e  
5.9 Stack应用范例说明 0aS&!"o!  
6. VR、AR及HUD用光学薄膜 `]xot8  
6.1 背景介绍 8+7=yN(  
6.2 产品特性 &J~%Nt  
6.3 典型VR系统光学薄膜设计分析 :jp4 !0w  
6.4 典型AR系统光学薄膜设计分析 M!ra3Y  
6.5 典型HUD系统光学薄膜设计分析 !z.C}n5F  
7. 防雾薄膜 D9|?1+Kc  
7.1自清洁效应 + ^9;<>P  
7.2 超亲水薄膜 }m6j6uAR6)  
7.3 超疏水薄膜 "/-T{p;.  
7.4 防雾薄膜的制备 FOU^Wcop%  
7.5 防雾薄膜的性能测试 K(M@#t1_&  
8. 材料管理 &E>zvRBQ  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 xgeKz^,  
8.2 金属与介质薄膜 mfNYN4Um6  
8.3 材料模型 (y xrK  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 j`9+pI  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 Z=vzF0  
8.6 基板光学常数的提取 gTp){  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 u,6 'yB'u  
9. 薄膜制备技术 8'(|1  
9.1 常见薄膜制备技术 '5mzlR  
9.2 光学薄膜制备流程 ?OU+)kgzh  
9.3 淀积技术 !1H\*VM"  
9.4 工艺因素 qOKC2WD  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术  /_rg*y*  
10.1 光学薄膜监控技术 tilL7  
10.2 误差分析与监控决策 /Nh:O  
10.3 Runsheet 与 Simulator应用技巧 kXq*Jq  
10.4 膜系灵敏度分析 ms%Ot:uA  
10.5 膜系容差分析 2_x~y|<9  
10.6 误差分析工具 hkO)q|1  
11. 反演工程 U-$ B"w&  
11.1 镀膜过程中两种主要的误差（系统误差和随机误差） %DQ.f*%  
11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索 GMZj@q  
12. 应力、张力、温度和均匀性工具 #<7ajmr  
12.1 光学性质的热致偏移 Bpjw
c<U  
12.2 应力工具 9xvE?8;M#  
12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题) ^%v<I"<Uq5  
13. Function功能扩展 3huTT"G  
13.1 如何在Function中编写操作数 jF'azlT  
13.2 如何在Function中编写脚本 6'M"-9?G  
14. 光学薄膜特性测量 
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14.1 薄膜光学常数的测量 ZU&I`q|Y6  
14.2 薄膜堆积密度的测量 !Z7 ~Rsdm  
14.3 薄膜微观结构分析 a/.O,&3  
14.4 薄膜成分分析 ms8PFu(f  
14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量 NC 0H5  
14.6 薄膜表面粗糙度的测量 SR#%gR_SC  
15. 项目管理与应用实例 w@
Pc7$EP  
15.1 项目管理 $+Hv5]/hb  
15.2 光学薄膜项目开发过程 ;mXr])J  
15.3 客户需求分析 h-1eDxK6  
15.4 文档管理与报表生成 9Q".166  
15.5 【案例分析】Macleod 软件在太阳能薄膜中的应用 g5)f8k0+ t  
15.6 【案例分析】Macleod 软件在激光薄膜设计分析中的应用 urHQb5|T}  
15.7 【案例分析】Macleod 软件在光电功能薄膜中的应用 W"mkNqH  
15.8 仿生蛾眼结构在显示技术上的应用 4"e7 43(  
15.9 OLED薄膜及微腔效应 Cm;WQuv@  
15.10 金属线栅偏振器 Riq5Au?*)  
16. Q&A  ##7,  
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