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调查一下,你肯花多少钱加装射频离子源
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调查一下,你肯花多少钱加装射频离子源
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ouyuu
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发表于: 2021-05-21
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最近在搞射频源,大致已经有眉目了。
}[!=O+gO
具体
参数
如下:口径175mm;
9@"pR;X@
阳极电压500~1200V,电流500~1200mA(自动匹配);
*^G,
射频阴极电流500~2000mA。(自动匹配)
=BR+J9
启动时间比较短,大概5分钟就能达到平稳。
\/ri|fm6l#
冷却时间需要比较长,大概10~30分钟。
j]%XY+e
]CcRI|g}
栅网寿命大概2年左右,100小时保养一次,阴极50小时保养一次。
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1楼
发表于: 2021-06-05
这个阴极保养时间有点短了
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ouyuu
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2楼
发表于: 2021-06-09
阴极保养时间主要看冷却时间。
, :K{
一般要求阴极冷却30分钟后开门,但是国内客户一般等不了这么长时间,
cQd?,B3#F
10分钟左右就开门了,这种情况下阴极的氧化就会比较快。
T?A3f]U
所以只能多做保养。
z8kebS&5
[+A]E,pv]1
如果你能每罩等三十分钟充分冷却的话,其实中和器不保养也没多大问题。
uR2|> m
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春风依旧
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3楼
发表于: 2021-10-13
射频对比,国产能达到也不错了,希望越来越好
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聂光辉
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4楼
发表于: 2022-04-20
很多干扰因素会更多。有机会也会试试5+912651
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