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    [讨论]调查一下，你肯花多少钱加装射频离子源 [复制链接]

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    离线ouyuu
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-21
    本次投票已结束

    最多可选2项，共有4人参与，

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    最近在搞射频源，大致已经有眉目了。 $h`(toTyF  
    具体参数如下：口径175mm; NUbw]Y90~  
    阳极电压500~1200V，电流500~1200mA(自动匹配）; 9]fhH  
    射频阴极电流500~2000mA。（自动匹配） I_6NY,dF  
    启动时间比较短，大概5分钟就能达到平稳。 y=g9 wO  
    冷却时间需要比较长，大概10~30分钟。 T]Z|Wq`bot  
    Zu`; S#Y  
    栅网寿命大概2年左右，100小时保养一次，阴极50小时保养一次。
     
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    离线hl594566271
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-06-05
    这个阴极保养时间有点短了
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    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-06-09
    阴极保养时间主要看冷却时间。 d\aKGq;8C  
    一般要求阴极冷却30分钟后开门，但是国内客户一般等不了这么长时间， >2h|$6iWP  
    10分钟左右就开门了，这种情况下阴极的氧化就会比较快。  }/~%Ysl  
    所以只能多做保养。 -YM#.lQ  
    ^kZfE"iE2  
    如果你能每罩等三十分钟充分冷却的话，其实中和器不保养也没多大问题。 S Y\ UuZ  
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    离线春风依旧
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-10-13
    射频对比，国产能达到也不错了，希望越来越好
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    离线聂光辉
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2022-04-20
    很多干扰因素会更多。有机会也会试试5+912651
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