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    [求助]防水药什么在晶控设置材料的参数？ [复制链接]

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    离线725514453
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-23
    关键词： 晶控参数
    防水药什么在晶控设置材料的参数？
     
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    离线fanrongwei11
    工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-02-23
    防水药镀膜一般不用设置晶控材料参数的，用阻蒸镀效果最好，大概镀10nm很快就镀完了，电子枪镀小电流就可以了，可以先手动镀一下看看大概要多大电流，然后再材料里设定好镀膜时的电流值或功率。
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-04-16
    可以參考Sio2的折射率 (E)/' sEb  
    1N< )lZl)  
    鍍率的話 2vKnxK+ 5  
    T8YqCT"EA<  
    我覺得有點靠經驗 AX8;x1t^.  
    Uc e#v)  
    不要太快鍍完這樣會分布不均勻 0-Xpq,0  
    WPyd ^Y<  
    其他靠感覺
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