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    [求助]关于PMMA镀膜问题 [复制链接]

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    离线15694227112
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-09
    请教下群里的大佬,我在做PMMA镀分光膜的时候,9层膜系  ti2o5  大概250nm  科达公司的硅铝混合物大概500nm,速率分别为2.5和5.0   离子源是霍尔源,不加温,镀后测温仪显示50度,但是放上去的片子还是会有轻微变形呢?基材尺寸是80*80*1.0的,后面我该怎么调整呢? %p:Z(zU  
    外面采购的镀膜四个侧边没有电子枪蒸镀产生的扩散印记,除了电子枪蒸镀还有什么办法做这个产品的AR膜和分光膜吗?
    本帖提到的人: @dumoty
     
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    离线15694227112
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-02-09
    我看到好多资料有提到退火一说,这个我镀前镀后  80度  2h也没有什么变化
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-02-10
    离子源和电子枪对板子都有加热作用。 a!EW[|[Q  
    还有就是膜本身的应力作用也会造成板子变形。 dT0>\9ZNr  
    你两面都镀一下看看
    1条评分光币+5
    cyqdesign 光币 +5 热心助人,鼓励! 2021-02-10
    离线15694227112
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-02-13
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:离子源和电子枪对板子都有加热作用。 Alo L+eN@  
    还有就是膜本身的应力作用也会造成板子变形。 {6WG  
    你两面都镀一下看看 (2021-02-10 03:29)  97U OH  
    $2,tT;50g  
    我现在尝试了很多种办法,最可疑的是我低温不加离子源也是会变形的,我现在怀疑冷却水流速压力不够,0.3是否需要提高到0.4,另一则,我腔体、门上和工架伞都包了锡纸了,是不是间接的把辐射都给了镜片了,不知道有影响不
    离线casix9489
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-02-19
    片子尺寸大厚度薄,应该是膜层应力作用导致片子变形
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2021-02-19
    http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 }<X*:%#b  
    关于应力你可以看下资料,并不是温度越低越好。
    离线15694227112
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    只看该作者 6楼 发表于: 2021-03-02
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 F?R6zvive  
    关于应力你可以看下资料,并不是温度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  *X$qgSW  
    PdVx&BL*  
    非常感谢
    离线15694227112
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    只看该作者 7楼 发表于: 2021-03-02
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 gsQn@(;  
    关于应力你可以看下资料,并不是温度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  9m>L\&\_e  
    XU}i<5  
    这个文章我阅读过了,目前已经解决了这个难题,影响的因素很多,么办法说准确的就是降低离子能量就一定会好,一定程度和基底的残余应力有相当的关系。
    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2021-03-06
    一般这种情况我们会两面镀,这样两面应力能够抵消。
    离线tony肖
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    只看该作者 9楼 发表于: 2021-06-22
    对,进行两面镀膜,还有就是匹配好基板和膜层间的应力