通过从光学分析模型文件中读取表面处方数据并编写可由光学分析软件读取的宏文件来与光学分析软件接口。SigFit编写的宏文件将修改名义光学分析模型,以纳入机械干扰的影响。这些干扰可能是表面运动和形状变化,集成的OPD或折射率分布。 J:V?EE,\-
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热光分析 pK0"%eA
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热光分析涉及预测由于透射光学中温度变化引起的折射率变化而引起的光学性能变化。如图1所示,SigFit从热有限元模型和热光材料特性中获取温度分布预测值,并能够使用两种方法进行热光预测:OPD积分方法和用户定义的梯度指数方法。 !47n[Zs
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OPD集成方法 (o`{uj{!
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热光分析的第一种方法是通过有限元模型进行积分,以计算沿积分路径的光程差(OPD)。 F$)[kP,wtO
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