教程565(1.0) Wrm3U/>e
z'5 1.模拟任务 [KW)z#`*
&!+1GI9z
本教程将介绍设计和分析生成Top Hat图案的折射率调制扩散器图层。 gEgd/Le 设计包括两个步骤: *^Z -4 - 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。 u&f|z9 - 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 je%y9*V 设计相位函数是基于案例DO.002。在开始设计一个梯度折射率扩散器之前,我们迫切地推荐您先阅读这个案例。 aOUTKyR ~ Uw)B(;Hy? SK@lr 照明光束参数 Iq{/-,v
16~5 ;u
jS#YqVuN
波长:632.8nm |b!Bb<5
激光光束直径(1/e2):700um & TN.6Hm3 SEM-t 理想输出场参数 !<h-2YF<M
4~d:@Gmk&
I3ugBLxVC3
直径:1° A`I1G9s
分辨率:≤0.03° |B2>}Y/
效率:>70% -(#`JT8
杂散光:<20% btDTC9O
kWCxc0 BGstf4v>A< 2.设计相位函数 |uJjO>8]| sv!6zJs :vFYqoCn
9SU/86|N
相位的设计请参考会话编辑器 FaaxfcIfkw
Sc563_GRIN_Diffuser_1.seditor和优化文档Sc563_GRIN_Diffuser_2.dp。 ogdgLTi
设计没有离散相位级的phase-only传输。 m9ky?A,
a,xy38T< 3.计算GRIN扩散器 oSO~72 GRIN扩散器应该包含一个1mm厚度石英玻璃作为基板,和一个折射率调制的丙烯酸薄层。 wZj`V_3 最大折射率调制为△n=+0.05。 x*:"G'zT 最大层厚度如下: dZCjg0cx "(p&Oz 4.计算折射率调制 &sJ6k/l b>& 3XDz 从IFTA优化文档中显示优化的传输 [E qZj/ @8cn<+"b 将传输相位转变为实部,通过函数Manipulation→Field Quantity Operations→Move→Phase to Real。 }e>OmfxDBt Jg6@)<n -_>E8PhM 生成正向函数,通过Manipulation→Amplitude/Real Part Manipulation→Lift Positive函数。 z
E\~Oa; Z3 dI
B`@ (w%9?y4Q
乘以最大调制折射率(0.05),通过Manipulation→Operation with Constant→Multiply Constant函数。 gjB(Pwx
0.^67' }#Kl6x 将数据转换成数据阵列:Manipulation→Create Numerical Data Array(参见下一张)。 i~{ 0>"9 |O*?[|`H jZ<f-Ff0
-]:1zU
数据阵列可用于存储折射率调制。 c:-n0m'i
选择在下一个对话框中将实部转化为一个数据阵列图。 2KNs,4X@
插值应该设置为Nearest Neighbor来得到一个像素化折射率调制。 \"+}-!wr
z'Ut9u
5.X/Y采样介质 u X(#+ af=lzKt* DV!0zzJ GRIN扩散器层将由双界面元件模拟。 6D4 j];~X 这个元件可以在平面层和任意折射率调制之间进行模拟。 *nHkK!d<N 元件厚度对应于层厚度12.656μm。 l0%7u 折射率调制由采样x/y调制介质模拟。 xv_Z$&9e>l PWS5s^WM d.y-R#F_]
i >BQRbU
基材丙烯酸的离散数据应该从miscellaneous材料目录中加载。 ~mT([V
折射率调制的数据阵列必须设置到介质中。 ]!WD">d:
应该选择像素化折射率调制。 F^cu!-L
fLuOxYQbf
Htce<H-P
优化的GRIN介质是周期性结构。 .R&jRtb/E
只优化和指定一个单周期。 MVp+2@)}s
介质必须切换到周期模式。周期是 OlX
otp8
1.20764μm×1.20764μm。 TcH7!fUj lkQ(?7 6.通过GRIN介质传播 BHS8MV L@ 4z^VwKH\ j .:Zb~
_TVKvRh
通过折射率调制层传播的传播模型: L ?S#3@Pa
- 薄元近似 T{*!.+E
- 分步光束传播方法。 h?vt6t9
对于这个案例,薄元近似足够准确。 +VO(6Jn
在传播面板上选择传播方法,并且编辑传播设置。 ^7Z.~A y
场采样必须设置为手动模式并且采样距离为4.5μm(半像素尺寸)。 ]mx1djNA
@zig{b 8 7.模拟结果 }J_#N.y ^dKtUH/78G 角强度分布
(参见Sc563_GRIN_Diffuser_3.lpd)
hJ~=eYK?J
8.结论 nOU.=N
v`
;2547b[] VirtualLab Fusion支持设计GRIN衍射光学元件和全息图。 <p#+('N` 优化的GRIN元件可以生成任意的二维强度分布。 k}e~xbh-y 可以模拟通过x/y平面上任意调制的介质中的光传播。 ;<BMgO}N ,UW!?}@
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