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    [分享]超高精度面形干涉检测技术进展 [复制链接]

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    离线ka2012
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-14
    关键词： 精度面形干涉
    深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展，超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级，超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限，具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势，主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。
    附件: 超高精度面形干涉检测技术进展.rar (2192 K) 下载次数:20 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+5
    200833 光币 +5 - 2020-09-14
     
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    离线200833
    科学家
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-09-14
    谢谢你的分享。
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    离线宝妮
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-11-14
    感谢分享~
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