为了进一步提高激光光束用作直线基准的精度，建立了基于反射镜平动式光束稳定器以及两点式光束漂移分离法的高精度激光光束准直系统。首先，对系统中基于反射镜平动的光束稳定器进行研究，对其光束偏转原理以及影响因素进行分析，并对两点式光束漂移分离方法进行介绍。然后，对光束偏转单元的分辨力以及偏转范围、所使用的压电陶瓷非线性和迟滞特性、以及光束偏转单元的频率响应特性进行实验测试。最后，对该激光准直系统的激光光束准直精度进行测试。实验结果表明：本文提出的光束偏转单元在120 μrad范围内的光束偏转分辨力可以达到5 nrad，频率响应特性高于2 kHz；最终激光准直系统的准直精度在二维方向上分别达到1.9×10-8 rad和2.1×10-8 rad, 相对于现有技术约提高了3倍，满足激光光束用作高精度直线基准的需求。
