>" z&KZKI ufWd ) Q 微透镜阵列是由微米级透镜组成的阵列。它具有尺寸小、集成度高的特点，能够完成一些传统光学元件无法完成的功能，构成一些新型的光学系统。微透镜阵列不仅具有传统透镜的聚焦、成像等功能，还可以用在很多光电传感器、高端照明、光束整形、光束匀化、光纤耦合和激光耦合等方面。 5 ,1 q%
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(8/Qt\3jv 基于VirtualLab Fusion的周期化功能，可以快速的构建各种微透镜阵列，并使用局部平面界面近似（Local Plane Interface Approximation，LPIA）方法来对其进行物理光学分析，如像差以及衍射效应，从而更准确的评估微透镜阵列的性能，并导出IGES、STL等加工文件以进行加工。 9dXtugp| {ei,>5K
60St99@O 目前，我们采用纳米压印技术加工微透镜阵列，可以在玻璃、PET/PC、硅、金属或集成电路晶圆等各种材料或器件表面制作微透镜阵列。微透镜的材质是高透光率、耐高温的聚合物，如环氧树脂或丙烯酸酯。 *,=WaODO %
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左图：VirtualLab Fusion设计的微透镜阵列 右图：加工的微透镜阵列结构
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