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    [论文]应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计 [复制链接]

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    离线gangzi0801
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-05
    关键词： 投影光刻离轴照明自由曲面
    摘要：离轴照明是现代投影光刻中的一种重要的分辨率增强技术。针对不同的照明模式要求，提出了一种利用自 由曲面来实现离轴照明的方法。根据入射面和目标面之间的坐标拓扑和能量守恒关系，利用数值求解法得出自相 应的折射式自由曲面并对结果进行模拟，分别设计了环形、二极和四极照明，照明效率均达到90%以上，照明均匀 性均优于93%。结果表明，可以满足193nm投影光刻照明系统的设计要求。 x@.iDP@(  
    IC[SJVH;  
    关键词：光学设计；自由曲面；投影光刻；分辨率增强；照明；光束整形
    附件: 应用于投影光刻离轴照明的自由曲面设计.rar (1524 K) 下载次数:88 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-08-05
     
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    离线ttb2016
    技术专家
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-05
    感谢分享！
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    离线anti
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-08-09
    谢谢楼主分享，最近在设计光固化光路，很值得学习
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    离线sgq123
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-09-22
    谢谢楼主分享，，很值得学习
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    离线chenfeng1205
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-11-09
    学习学习
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    离线果冻ssr
    技术员
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-11-10
    自由曲面资料太少了 7L<oWAq  
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    离线火车污污
    实习生
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-12-28
    谢谢分享
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    离线daxingyang
    助理工程师
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    只看该作者 7楼 发表于: 2021-01-26
    光行天下的干货是越来越多了
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    离线阿伟不熬夜
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2021-10-21
    数值求解方法和种子曲线扩展方法，两者有什么区别呢
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    离线煮酒品春秋
    实习生
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-01-13
    谢谢楼主分享
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