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    [求助]如何调节脉冲偏压降低或者消除产品冶具起弧 [复制链接]

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    离线光迹
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-07-28
    回复本帖可获得1枚光币奖励!
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    在镀绝缘膜层时,产品冶具起弧,烧伤膜层。设备配置了脉冲偏压(工艺条件:-40V,频率50KHZ,脉宽5微秒,反向偏压10V),希望有了解的 同行指点一下,谢谢。 ` h1>rP  
    4WQ 96|F  
     
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    离线光迹
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-07-28
    工艺条件里面是反向偏压10V,打错字了
    离线a013109425
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-09-04
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    离线duancm9
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-09-04
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    学到了
    离线wflney
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-09-04
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    学习学习
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-09-08
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    什么机台,什么配置?蒸镀机还是溅射机?电子枪还是阻蒸或者是离子镀???
    离线光迹
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    只看该作者 6楼 发表于: 2021-03-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:什么机台,什么配置?蒸镀机还是溅射机?电子枪还是阻蒸或者是离子镀??? (2020-09-08 01:14)  >>C(y?g  
    ^q0Ox&X  
    磁控溅射,搭配直流脉冲偏压电源和HIPIMS高脉冲电源