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    [求助]如何调节脉冲偏压降低或者消除产品冶具起弧 [复制链接]

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    离线光迹
    助理工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-07-28
    回复本帖可获得1枚光币奖励！
    每人最多可获奖1次，奖池剩余16枚光币 (中奖几率100%)
    在镀绝缘膜层时，产品冶具起弧，烧伤膜层。设备配置了脉冲偏压（工艺条件：-40V，频率50KHZ，脉宽5微秒，反向偏压10V），希望有了解的 同行指点一下，谢谢。 vEG7A$Z"  
    Nv0a]Am  
     
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    离线光迹
    助理工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-07-28
    工艺条件里面是反向偏压10V，打错字了
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    离线a013109425
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-09-04
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    离线duancm9
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-09-04
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    离线wflney
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-09-04
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    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-09-08
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    什么机台，什么配置？蒸镀机还是溅射机？电子枪还是阻蒸或者是离子镀？？？
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    离线光迹
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2021-03-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:什么机台，什么配置？蒸镀机还是溅射机？电子枪还是阻蒸或者是离子镀？？？ (2020-09-08 01:14)  grDz7\i:  
    $K 1)2WG  
    磁控溅射，搭配直流脉冲偏压电源和HIPIMS高脉冲电源
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