切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1752阅读
    • 6回复

    [求助]如何调节脉冲偏压降低或者消除产品冶具起弧 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线光迹
    助理工程师
     
    发帖
    264
    光币
    1192
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-07-28
    回复本帖可获得1枚光币奖励！
    每人最多可获奖1次，奖池剩余16枚光币 (中奖几率100%)
    在镀绝缘膜层时，产品冶具起弧，烧伤膜层。设备配置了脉冲偏压（工艺条件：-40V，频率50KHZ，脉宽5微秒，反向偏压10V），希望有了解的 同行指点一下，谢谢。 &x19]?D"+  
    Vc|r(lM  
     
    回复
    举报
    分享到
    离线光迹
    助理工程师
    发帖
    264
    光币
    1192
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2020-07-28
    工艺条件里面是反向偏压10V，打错字了
    回复
    举报
    离线a013109425
    实习生
    发帖
    43
    光币
    12
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2020-09-04
    回帖奖励+ 1
    66666666666666
    回复
    举报
    离线duancm9
    实习生
    发帖
    7
    光币
    8
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2020-09-04
    回帖奖励+ 1
    学到了
    回复
    举报
    离线wflney
    助理工程师
    发帖
    436
    光币
    338
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2020-09-04
    回帖奖励+ 1
    学习学习
    回复
    举报
    离线ouyuu
    论坛版主
    发帖
    557
    光币
    3329
    光券
    1
    只看该作者 5楼 发表于: 2020-09-08
    回帖奖励+ 1
    什么机台，什么配置？蒸镀机还是溅射机？电子枪还是阻蒸或者是离子镀？？？
    回复
    举报
    离线光迹
    助理工程师
    发帖
    264
    光币
    1192
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2021-03-01
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:什么机台，什么配置？蒸镀机还是溅射机？电子枪还是阻蒸或者是离子镀？？？ (2020-09-08 01:14)  O; EI&  
    '[JrP<~^o  
    磁控溅射，搭配直流脉冲偏压电源和HIPIMS高脉冲电源
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表