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    [讨论]蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的 [复制链接]

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    离线小学僧
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-07-05
    蒸发镀膜都有哪些膜料要预融或者充氧镀的，大神说一下！
     
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    离线小学僧
    技术员
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-07-05
    五氧化三钛怎么镀的
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    离线yzhuang
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-08-10
    一般氧化物都充一点，包括sio2，不过会失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些
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    离线cc327
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-08-20
    回 小学僧 的帖子
    小学僧:五氧化三钛怎么镀的 (2020-07-05 22:50)  /xjHzva^ w  
    3LZ0EYVL  
    需要充氧
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    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-08-23
    氧化物最好都充氧。
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    离线shunzi130
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-10-10
    充60-70sccm
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    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-10-10
    镀膜并不是以分子形式，而是以单独原子的方式蒸发的。 .x$+ 7$G  
    不同原子的质量不同，蒸发速度和运动角度也不一样。 vk+TWf  
    所以在蒸发早期或者末期，还有大角度区域，可能会发生氧不足的情况。 BCF- lrZ&  
    （氧多余会变成气体蒸发掉，所以不存在氧多余的情况） $lci{D32,  
    这时候适当补充氧气，可以补足缺失的氧，使得薄膜性质稳定。
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    离线tony肖
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    只看该作者 7楼 发表于: 2021-06-24
    氧化物建议充氧
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    离线alienware
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    只看该作者 8楼 发表于: 2021-10-25
    谢谢学习下 BqK|4-Pf  
    谢谢
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    离线菩提树下
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    只看该作者 9楼 发表于: 04-14
    用PVD，通氧气和氩气镀膜 5 |{0|mP  
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