切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    123
    • 5384阅读
    • 20回复

    [分享]光刻机投影物镜结构型式比较 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线我是菜鸟
    工程师
     
    发帖
    1113
    光币
    1515
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-05-02
    关键词： 光刻机投影物镜
    摘要：本文分析了光刻机中采用的几种投影物镜的结构型式，比较了各自的优缺点，指出目前光刻机中采用全折射投影物镜作为主流结构型式的原因。 h v9s  
    2&P'rmFm  
    关键词：光刻机；投影物镜；全折射型；折反射型
    附件: 光刻机投影物镜结构型式比较.rar (290 K) 下载次数:93 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+6
    sxwpdpd 光币 +1 - 2020-08-03
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-05-02
     
    回复
    举报
    分享到
    离线liaow
    技术员
    发帖
    338
    光币
    2
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2020-05-03
    光刻机近年来很火啊，学习哈。
    回复
    举报
    离线bmw0501
    高级工程师
    发帖
    1144
    光币
    5379
    光券
    3
    只看该作者 2楼 发表于: 2020-05-06
    感谢分享
    回复
    举报
    离线420200590
    技术员
    发帖
    343
    光币
    7
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2020-05-17
    学习学习
    回复
    举报
    离线420200590
    技术员
    发帖
    343
    光币
    7
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2020-05-17
    谢谢分享
    回复
    举报
    离线江gengen
    实习生
    发帖
    8
    光币
    4
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2020-05-17
    下载了
    回复
    举报
    离线夜华
    助理工程师
    发帖
    358
    光币
    0
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2020-05-19
    感谢。。
    回复
    举报
    离线龙涛
    实习生
    发帖
    163
    光币
    21
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2020-05-19
    谢谢分享
    回复
    举报
    离线gandongdi226
    实习生
    发帖
    66
    光币
    77
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2020-05-19
    学习牛人的知识 GK2IY  
    回复
    举报
    离线Optic_Stud
    助理工程师
    发帖
    307
    光币
    88
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2020-05-20
    几年来的热点 学习一下
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123