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    [分享]光刻机投影物镜结构型式比较 [复制链接]

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    离线我是菜鸟
    工程师
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-05-02
    关键词： 光刻机投影物镜
    摘要：本文分析了光刻机中采用的几种投影物镜的结构型式，比较了各自的优缺点，指出目前光刻机中采用全折射投影物镜作为主流结构型式的原因。 Iw4[D#o  
    5\Rg%Ezl  
    关键词：光刻机；投影物镜；全折射型；折反射型
    附件: 光刻机投影物镜结构型式比较.rar (290 K) 下载次数:93 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+6
    sxwpdpd 光币 +1 - 2020-08-03
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-05-02
     
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    离线liaow
    技术员
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-05-03
    光刻机近年来很火啊，学习哈。
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    离线bmw0501
    高级工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-05-06
    感谢分享
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    离线420200590
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-05-17
    学习学习
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    离线420200590
    技术员
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-05-17
    谢谢分享
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    离线江gengen
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-05-17
    下载了
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    离线夜华
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-05-19
    感谢。。
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    离线龙涛
    实习生
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-05-19
    谢谢分享
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    离线gandongdi226
    实习生
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-05-19
    学习牛人的知识 a#G3dY>  
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    离线Optic_Stud
    助理工程师
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    只看该作者 9楼 发表于: 2020-05-20
    几年来的热点 学习一下
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