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    [分享]简述光刻机投影物镜的几种减振方案 [复制链接]

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    离线gangzi0801
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-05-02
    关键词： 光刻机投影物镜
    摘要：振动是影响光刻机投影物镜动态稳定性的关键因素，决定了投影光刻机的主要性能。简述了消除或抑制投影物镜振动的两种方案，即一体式主动减振方案和采用压电陶瓷驱动的柔性支撑两级主动减振方案。通过在实际中应用表明，后一种减振方案可以实现亚微米甚至纳米级的定位精度及稳定性。 $Emu*'  
    X V;j6g  
    关键词：光刻机；投影物镜；压电陶瓷；主动减振
    附件: 简述光刻机投影物镜的几种减振方案.rar (681 K) 下载次数:25 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+11
    mang2004 光币 +6 - 2020-05-06
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-05-02
     
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    离线wmh1985
    高级工程师
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-05-22
    机械减震吗
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    离线王教主
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2023-03-14
    机械减震吗
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    离线fangyongyong
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 01-10
    好东西
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