[分享]大口径非球面系统的共基准加工与检验 [复制链接]

摘要：针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点，提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法，对该方法的基本原理和实现过程进行了分析和研究。当光学系统的主镜和第三镜面形的RMS值优于λ/10（λ=632.8 nm）时，对主镜和第三镜进行共基准装调和测试，并进行背板一体化装嵌，然后利用离子束对其进行一体化共基准加工。结合工程实例，对一大口径非球面系统口径为724 mm×247 mm的非球面主镜和口径为632mm×205 mm的第三镜进行了共基准加工与检测，最终利用离子束共基准一体化精抛光得到主镜和第三镜面形的RMS值分别为0.019λ和0.017λ，满足光学成像。 E"qFXA>  
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关键词：光学加工；光学检测；非球面；三镜消像散系统；共基准；离子束加工

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