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那用ZYGO 怎么测量光圈本数呢 现在有些图纸都是标注多少分之1波长的面型 那这个数值是不是ZYGO里面的PV值数据呢.?还请赐教
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cj6333:楼主,这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。 ?U%QG5/> 1,面形PV,全称是Peak-Vally,也就是峰谷值,指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长,也就是0.25*632.8=158nm,面形波长和光圈的关系是,1个波长=2个光圈。 #r$cyV!k 2,局部光圈,看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。 i3dkYevs? 3,平片的 .. (2020-06-13 21:11) Ac96 [
独孤一生:您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点 (2020-06-29 02:06) ;P;-}u