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    离线独孤一生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-21
    最近刚接触ZYGO平面干涉仪,不太能理解其中的概念   25|8nfeC5  
    1. 如面型是PV值  那么光圈本数是不是等于  PV值数值XXnm除以波长632.8nm*2倍,即等于光圈本数 T\# *S0^  
    2.局部光圈又该怎么计算. h2;z 4  
    3.平片的平行度该如何测试. rJ'I>Q~x6  
     谁能帮我解开迷惑....
     
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    离线邢岩
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-04-27
    PV还有RMS之间可以有对比公式,但是PV与光圈,RMS与局部光圈没有特定的对比公式。我们经常说的一个波长两个圈是指的样板与镜片之间的光程差

    楼主留言:

    那用ZYGO 怎么测量光圈本数呢  现在有些图纸都是标注多少分之1波长的面型  那这个数值是不是ZYGO里面的PV值数据呢.?还请赐教

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    cyqdesign 光币 +5 精彩回帖,奖励! 2020-04-27
    离线cj6333
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-06-13
    楼主,这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。 D;F{1[s(  
    1,面形PV,全称是Peak-Vally,也就是峰谷值,指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长,也就是0.25*632.8=158nm,面形波长和光圈的关系是,1个波长=2个光圈。 L8vOBI7N  
    2,局部光圈,看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。 I]J*BD#n.  
    3,平片的平行度,类似于楔形片。以干涉仪标准镜为参考面,测量楔角大小。
    离线独孤一生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-06-29
    回 cj6333 的帖子
    cj6333:楼主,这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。 B {i&~k  
    1,面形PV,全称是Peak-Vally,也就是峰谷值,指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长,也就是0.25*632.8=158nm,面形波长和光圈的关系是,1个波长=2个光圈。 rqvU8T7A  
    2,局部光圈,看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。 K M]Wl_z  
    3,平片的 .. (2020-06-13 21:11)  FH n,]Tfx  
    j3 P RAe  
    您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点
    离线cj6333
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-07-08
    回 独孤一生 的帖子
    独孤一生:您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点 (2020-06-29 02:06)  D;yd{]<  
    [b pwg&Oo  
    1、PV值1/4波长,按照光源632.8nm,那么四分之一就是158nm。 I9s$bRbT  
    2、Zygo的干涉仪一般是目视条纹图和通过软件计算直接得到数字化的面型,大多在检测室使用。你说的通过干涉条纹读光圈的方法,一般是在光学车间中使用。 9e76 pP(  
    S%P3ek>3  
    我们可以提供光学样板和目视条纹读书干涉仪,也可以选配数字化软件(直接得到面型和数值) n=SzF(S[M  
    1条评分光币+5
    cyqdesign 光币 +5 精彩回帖,奖励! 2020-07-08