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最近刚接触ZYGO平面干涉仪,不太能理解其中的概念   l@:0e]8|o  
1. 如面型是PV值  那么光圈本数是不是等于  PV值数值XXnm除以波长632.8nm*2倍,即等于光圈本数 PxE3K-S)G  
2.局部光圈又该怎么计算. }d }lR  
3.平片的平行度该如何测试. 3k?X-|O8AZ  
 谁能帮我解开迷惑....

PV还有RMS之间可以有对比公式，但是PV与光圈，RMS与局部光圈没有特定的对比公式。我们经常说的一个波长两个圈是指的样板与镜片之间的光程差

楼主，这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。 w+{LAS  
1，面形PV，全称是Peak-Vally，也就是峰谷值，指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长，也就是0.25*632.8=158nm，面形波长和光圈的关系是，1个波长=2个光圈。 #C3.Jef  
2，局部光圈，看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。 +?!(G}5  
3，平片的平行度，类似于楔形片。以干涉仪标准镜为参考面，测量楔角大小。

cj6333:楼主，这涉及到光学干涉中的等厚干涉问题。 Da&]y
 
1，面形PV，全称是Peak-Vally，也就是峰谷值，指的是一个表面上最高点和最低点之间的差。PV=0.25波长，也就是0.25*632.8=158nm，面形波长和光圈的关系是，1个波长=2个光圈。 V /V9B2.$  
2，局部光圈，看光圈的弯曲程度与条纹间距的关系。 *itUWpNhr  
3，平片的 .. (2020-06-13 21:11)  }2<7%FL  

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您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点

独孤一生:您的意思是当干涉仪测到PV值是158nm时,这是代表PV值是1/4 lamuda是吧.但他不是1/4波长.0.5个光圈吗.ZOYA干涉仪.能通过干涉条纹图形读出光圈数嘛.就类似于样板检光圈识别法.还是说ZOYA干涉仪只能能过干涉条纹识别局部光圈.即通过条纹的平滑度来对比.望指点 (2020-06-29 02:06)  7XLtN "$$  

9oR@U
W1  
1、PV值1/4波长，按照光源632.8nm，那么四分之一就是158nm。 CiLg]va
 
2、Zygo的干涉仪一般是目视条纹图和通过软件计算直接得到数字化的面型，大多在检测室使用。你说的通过干涉条纹读光圈的方法，一般是在光学车间中使用。 xvl#w  
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我们可以提供光学样板和目视条纹读书干涉仪，也可以选配数字化软件（直接得到面型和数值） hwBfdZ