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    [分享]微纳加工技术在光电子领域的应用 [复制链接]

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    离线ka2012
    技术专家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-02-03
    关键词： 微纳加工光电子光子晶体量子点
    摘要：纳米光电子器件正在成为下一代光电子器件的核心。文章介绍了电子束光刻和电感耦合等离子体刻蚀为代表的微纳加工技术在光电子学器件中的应用，主要包括量子点激光器、 量子点THz探测器和光子晶体器件。 9*U3uyPi  
    9F@Q  
    关键词：纳米光电子器件；电子束光刻；电感耦合等离子体刻蚀；量子点器件；光子晶体
    附件: 微纳加工技术在光电子领域的应用.rar (211 K) 下载次数:12 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-02-03
     
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    离线fy0511
    实习生
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-04
    非常好的资源！感谢楼主
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    离线hkssy
    实习生
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-03-18
    谢谢楼主分享
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    离线cmy0522
    实习生
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-05-16
    学习了
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    离线刹那青春
    实习生
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-06-21
    感谢楼主分享
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    离线l小飞
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2022-04-25
    感谢分享
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