摘要:超光滑表面制造技术是超精密加工技术的一个重要分支。通过介绍超光滑表面的特征、应用及其制造技 术的发展,希望给出超光滑表面技术的整体轮廓。在介绍超光滑表面的概念及其主要特征的基础上,通过典型例证指 出了超光滑表面在软X射线光学、激光陀螺等科技领域的重要应用。回顾了超光滑表面制造技术的发展过程,对各种 超光滑表面加工原理与方法进行了简单描述与评价,最后提出了对超光滑表面制造技术的发展趋势的观点。 RyI(6TZl
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关键词:超精密加工;超光滑表面;抛光;粗糙度 o\n9(ao