高NA(
数值孔径)
物镜常用于
光学显微及光刻，并已广泛在其他应用中得以使用。众所周知，在高数值孔径物镜的使用中，电磁场矢量特性的影响是不可忽略的。一个众所周知的例子就是由高NA(数值孔径)物镜聚焦线性偏振圆
光束时，焦斑的不对称性:焦斑不再是圆的，而是拉长的。我们通过具体的物镜
实例来说明了这些效应，并演示了如何在
VirtualLab Fusion中使用不同的
探测器分析焦斑。
h7oo7AP iWkWR"ys y 高数值孔径物镜的聚焦分析
Ic<2QknmP n( yn< 高数值孔径(NA)物镜广泛用于光学光刻、显微
系统等。在对焦斑的
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。
=y*IfG9b v{ 4$D~I 高数值孔径(NA)物镜系统的先进点扩散函数计算
*?vCC+ c PFjL1=7I 当线性偏振高斯光束经高数值孔径(NA)
非球面透镜聚焦时，由于矢量效应，焦平面上的PSF呈现非对称性。
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<kqo^ （来源：讯技光电）
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