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    [求助]机台清机前后分光偏移过大 [复制链接]

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    离线ouyuu
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    只看该作者 10楼 发表于: 2019-09-27
    应该是真空放气造成的。 .qPfi] ty  
    清机后护板表面水气会比较多,会影响真空度。 UN4) >\Y  
    另外你清机时门打开时间过长,真空仓内又比较脏,也会吸收很多水气。 IbaL.t\>  
    R}26"+~  
    建议把侧壁加热开到最大,抽个两小时,同时镀个几层膜。
    离线孔鑫鑫
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    只看该作者 11楼 发表于: 2019-09-28
    回 淡小疼 的帖子
    淡小疼:第一次出现这种情况还是每次清理完都有这种情况? (2019-09-25 22:09)  .Tv(1HAc2l  
    &Qjl|2  
    这一次清机没有更换电子枪灯丝,分光偏移不大,可以接受,请问电子枪会影响这么多吗?
    离线士官长
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    只看该作者 12楼 发表于: 2019-09-28
    工艺是否充氧? -~fI|A^  
    离线ouyuu
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    只看该作者 13楼 发表于: 2019-09-30
    回 孔鑫鑫 的帖子
    孔鑫鑫:这一次清机没有更换电子枪灯丝,分光偏移不大,可以接受,请问电子枪会影响这么多吗? (2019-09-28 10:43)  (=V[tI+Ngt  
    c@M@t0WT[  
    新灯丝配合旧的枪头是会有这种现象。 \}NWR{=  
    新灯丝表面比较光滑,旧枪头的卡槽间隙一般也会比较大。 Y3>\;W*?  
    卡槽卡不住灯丝,点着后由于热胀冷缩,位置就不稳定。 Pc== ]H(  
    灯丝烧一段时间就好了。 ped Yf{T  
    +Ob#3PRy  
    这种情况下只有换灯丝夹
    离线knight627
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    只看该作者 14楼 发表于: 2019-10-05
    大清机器一般会造成抽气速度快,介质折射率发生变化,成膜条件与定标条件不一直,又是晶控,介质膜往短波方向漂移,如果想保持一致性,建议每两炉换一块衬板,不要一次性换完,特别是用繁枫的扩散泵会有轻微返油,大清把油处理后,再加上所有清洗的衬板,头几炉建议多抽气烘烤几次,当然最好还是找到适合自己机器的清理方式,让每次镀膜机器内部环境接近一致
    离线hl594566271
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    只看该作者 15楼 发表于: 2019-10-07
    回 孔鑫鑫 的帖子
    孔鑫鑫:已经连续两次了,我也是刚到这边没多久 (2019-09-26 08:32)  RXS|-_$  
    kDl4t]j  
    晶控机清机完肯定会往短波偏的,清完机第一炉先试镀,你观察下每次偏移是否稳定有规律,如果是规律的每次补偿就是了,还有检查补正板、光斑、真空度这些是否前后一致
    离线dede
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    只看该作者 16楼 发表于: 2019-10-12
    学习了,的确有此现象,但原因不明!
    离线xitang007
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    只看该作者 17楼 发表于: 2019-10-27
    10天清一次机台没有对比性啊!
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    只看该作者 18楼 发表于: 2019-10-28
    正常保养前后20NM偏移,你这个有些多了,多弄几次找准规律就行了。
    离线dumoty
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    只看该作者 19楼 发表于: 2019-11-21
    是否是修正板升起的高度有变化了?