摘要：为了快速获取不平整度达数微米量级的
光学表面面形分布，提出一种基于变倾角移相的斜入射动态
干涉仪方案。 基于迈克耳逊
干涉仪主光路
系统，采用 2×2 点
光源阵列，通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角，引入等间隔移 相，结合
透镜阵列实现空间分光，在单个
CCD 上同时采集四幅移相干涉图，实现动态测量。在 68°斜入射角下测量了 口径 35 mm 硅片的平整度，均方根(RMS)值为 1.631 μm，峰谷(PV)值为 9.082 μm。实验结果表明，将变倾角同步移 相技术引入斜入射干涉系统，可以克服环境震动的干扰，在保证高
精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。
9<K j6t_ MLFKH 关键词：干涉测量；斜入射；动态干涉仪；表面平整度
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