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    [下载]求助光驰机离子源结构原理资料 [复制链接]

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    离线qqcheng
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-06-24
    RT求助一份光驰离子源学习资料，更全面的了解和学习其工作原理以及设计的结构
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-06-24
    离子源机械结构很简单，难点在于控制（气体，电压，电流，RF匹配）和栅网的加工精度。
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    离线qqcheng
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-06-24
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:离子源机械结构很简单，难点在于控制（气体，电压，电流，RF匹配）和栅网的加工精度。 (2019-06-24 13:50)  "<=4]Z  
    ``CM7|)>`  
    您好，首先谢谢你的回复。您说的这些点难控制其根本参照标准是否在于薄膜吸收大小问题。
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-06-24
    这些难点会影响离子源稳定性。 1Of(O!  
    一个不稳定的离子源是无法做出稳定的膜系的
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    离线我爱小灰宝
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-07-27
    离子源.rar (5267 K) 下载次数:188 zd5=W"Y;]  
    这是资料，你可以看看
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    离线jiangxinwu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-08-19
    同求助 哈哈谢谢了
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    离线会飞的蜘蛛
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    只看该作者 6楼 发表于: 2023-09-06
    谢谢楼中好心人
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    离线李某
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    只看该作者 7楼 发表于: 2023-12-17
    感谢大佬 /lR*ab  
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    离线谭健
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-12-17
    感谢大佬
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