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    [求助]Au工艺问题 [复制链接]

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    离线chenliang1990
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-05-23
    各位大神，请教一个关于镀Au的问题，用3M胶带拉扯掉膜，请问有大神们什么好的改善方法吗？谢谢 si"mM>e  
    制程：AL2O3+Au+AL2O3-(加热340度烘烤70分钟）+TI3O5+SIO2 a?Qcf;o  
    .of:#~  
     
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    离线sgh920
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-05-23
    用铬打底，保护用氧化铪试试
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-06-23
    按1楼说的额试下。打底的材料换CR
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    离线holdlove1314
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-06-23
    保护的温度太高啦 产生膜的致密性不好
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    离线viavi1109
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-08-23
    Cr打底试试，Cr+Ni+Au
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