摘自User's Manual 10.3.1.3节 +JI,6)Ry
波前方差是像质的有用度量,VARIANCE命令可以计算方差、标准偏差、X和Y中的图像点。后两个量给出了参考球面中心的位置,在该位置方差被最小化,如果该分析是多色的,从所请求的色差或主色差的主要光线点测量。这是对衍射图样的峰值位置的一个有用的近似,只要OPD误差小于一个波长。对于畸变非常重要的透镜,比如显微光刻物镜,我们希望控制这个位置,而不是仅仅控制主光线截距的位置——这是校正畸变的一个更常见的目标。本节描述的像差允许我们这样做。格式是: 76D$Nm
M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS SA'g`
M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS Bv7FZK3
M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS _|\X8o_
M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS gs1yWnSv5
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS G/JGb2I/7|
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS &KMI C
它们在AANT文件中。XIP和YIP的值给出了从参考点到像点的距离,接近衍射图样的峰值。参考点是在请求的色差中,或如果请求多色“M”则在主色差中,在请求的视场角处的主光线点。WVAR返回波前方差,WSTD返回方差的平方根,即波前的标准偏差。 ;?{^LiD+F
IPX和IPY是相关的,但是不同。在这里,程序找到像点,然后也找到轴上物体的对应点。返回值是X和Y的差值,单位是透镜单位。因此,如果轴上像是完美的,计算返回在请求的视场处像点的位置。如果轴上像点有非零坐标(例如,由于轴向彗差),从该点而不是从顶点测量返回值。因此,为了控制畸变,目标是所需的图像比例与IPX或IPY返回的值之差。 ~B[e*|d
用VARIANCE进行计算,追迹大约NRYS条光线并找到所需的量。 -Y524