摘要：纳米精度光学表面在光刻技术、同步辐射、空间观测和惯约聚变等领域有重大需求。随着装备 性能需求的不断提升，这些光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限，对光学制 造技术提出了更高挑战，使光学制造成为纳米制造技术的发展前沿。通过攻克纳米量级材料去除的稳定性、 复杂曲面可控补偿和装备运动轴性能设计等关键问题，掌握了以磁流变和离子束抛光技术为代表的可控柔 体抛光技术，利用自主研发的抛光制造装备和工艺实现了典型光学零件的纳米精度制造，为国家相关科技项 目的顺利实施提供有力的制造技术支撑。 $@}6P,mg
pWw aN4
关键词：纳米精度制造；光学制造；可控柔体抛光；磁流变抛光；离子束抛光
