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    [求助]为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜? [复制链接]

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    离线ychm1002
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-01-30
    我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2  基底温度是250度 9Trk&OB  
    前几天我的基底温度是260度,但不脱膜~~10度应该不会至于脱膜吧 K^6d_b&  
    希望各位高手指教 谢谢!!!
     
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    离线zmc326
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-03-23
    兄弟:增透膜的蒸镀温度一般都是300度左右呀,你的温度这么低,不脱才怪呢。
    离线nolla68
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-03-24
    那有很多關係,其中基板的清潔是相當重要的,另外鍍膜時的真空(gas in)及其他的因素都會導致脫膜
    离线wangxingyu
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-04-08
    看看离子源有没有问题
    离线wolfliu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-04-09
    学到了知识呀,论坛就是好哇
    离线lgciom
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-04-09
    如果基底实际温度达到了250,一般增透膜的温度已经够了。脱膜的因素很多,先看看返不返油吧
    离线gp11
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-04-22
    加温的时间够不够,玻璃尺寸大的话最好到300度,持续1个半小时
    离线清洗小卒
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    只看该作者 7楼 发表于: 2007-05-08
    清洗力度不够也会造成脱膜,不过还是和镀膜时的温度有很大的关系
    离线jojo_g
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    只看该作者 8楼 发表于: 2007-05-16
    脱膜。。。增透 基地温度要在250度以上  基地清洁度要高!
    离线dede
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    只看该作者 9楼 发表于: 2012-02-16
    JBM1是什么? k_,& Q?GtU  
    可能是返油了,或者真空度不好 xQDQgvwa