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    [求助]为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜? [复制链接]

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    离线知识乞丐
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    只看该作者 30楼 发表于: 2016-09-17
    学到了知识呀,论坛就是好
    离线johnyu
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    只看该作者 31楼 发表于: 2016-11-09
    溫度三百度? 沒用IAD嗎?
    离线ysc212
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    只看该作者 32楼 发表于: 2016-11-10
    如果250度是标定过的温度,脱膜有可能:1 表面清洁不好;2,返油,真空度不好;3,镀制速率;4,膜层应力不匹配。 =Ug_1w  
    检验膜的牢固度:一般擦拭即可;按标准,则需用胶带粘拉。 r . ^&%D  
    离线闫俊110
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    只看该作者 33楼 发表于: 2016-11-21
    学到了知识呀,论坛就是好哇
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    只看该作者 34楼 发表于: 2017-04-07
    离子源清洗,和仓体洁净度
    离线古书生
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    只看该作者 35楼 发表于: 2017-06-12
    温度应该够了,看看你的材料参数有没有问题!估计你是没有离子源的设备,所以不考虑离子源问题!
    离线光迹
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    只看该作者 36楼 发表于: 2020-08-13
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多,怪不得一炉要那么久。 ZHECcPhz  
    如果我和你们说我现在一炉40分钟,你们谁信,哈哈。 kah3Uhr~  
    你的问题在于以下几点: $1zeY6O  
    1,腔室的洁净做好没有? U4l*;od  
    2,离子源的轰击时间多少? =z1o}ga=EA  
    ....... (2014-06-17 20:01)  0$Y 9>)O  
    iv z?-X4]  
    40分钟一炉,看做什么膜系吧。我用日本昭和的机器,双面AR,全部镀完,56分钟。
    离线wflney
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    只看该作者 37楼 发表于: 2020-08-14
    学习学习