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yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多,怪不得一炉要那么久。 "rc QS H 如果我和你们说我现在一炉40分钟,你们谁信,哈哈。 RQu[FZT, 你的问题在于以下几点: nEP3B'+ 1,腔室的洁净做好没有? rWqr-"0S. 2,离子源的轰击时间多少? -O r\ ....... (2014-06-17 20:01) kpy)kS
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