[分享]长条形镜面面形拟合技术研究 [复制链接]

摘要：为了解决长条形镜面面形拟合中各项不正交，无法在调整中利用像差指导计算机辅助装调的问题，本文建立了一套合理的拟合模型。该模型以矩阵求解正交化Zernike多项式系数为基础，将离散的数据点作为定义域，对已选取的Zernike项进行定义域内正交化计算，并以获得的各正交项为基底，实现对长条形镜面及其他异形光学镜面的正交化多项式拟合求解。进而确定在干涉检测中加工误差与装调误差的分离，为光学镜面的最终面形收敛提供保障。根据本文实验结果，对一口径600 mm×260 mm，PV与RMS值分别为5.889λ及1.002λ的长条形光学镜面进行拟合，利用Metropro去像散后，面形未得到收敛，PV与RMS值分别变为7.448λ及1.725λ。而采用本文算法处理后，其PV与RMS值分别收敛为4.666λ及0.679λ，验证了本文方法对于长条形镜面拟合的正确性。 9~Sa7P  
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关键词 ： 干涉测量；面形拟合；长条形反射镜；正交化