摘要：光斑质量直接影响激光位移传感器测量的精度。为了提高激光位移传感器传感探头光学系统的成像质量，设计了传感探头四片式微小型光学系统。本文在理想成像基础上，分析光束在光学系统中能量传递的变化规律，对比光电探测器的感光能力，利用光学设计软件（ZEMAX）实现了激光位移传感器传感探头微小型光学系统的设计。通过理论计算分析，严格控制传感探头孔径光阑的大小，对光学系统进行优化处理，成像最大弥散斑半径低于3.3 μm，空间分辨率120 lp/mm以下的传递函数MTF （Modulation Transfer Function）值大于0.5，光线扇形图的最大像差小于5 μm，畸变量低于0.1859%。该光学系统具有良好的成像效果，可以满足激光位移传感器探测系统对成像系统成像光斑质量的要求，以保证传感器的测量精确度优于5 μm。 E=GCq=Uw
u&".kk
关键词 ： 微小型光学系统, ZEMAX, 光斑质量
